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FED栅板的影像测量挑战

点击次数:更新时间:2020-03-31 10:28:45

制造现场发射器显示器(FEDs),确保其制造部件的精度和质量对影像测量绝对是一个艰巨的挑战。 其中一个挑战涉及精确测量FED栅极板的孔直径和圆度,其精度要达到±0.01µm或更高。

为了实现这一点,VIEW系统分析测量窗口内的像素,并构建圆的径向轮廓参数。 在FED生产环境中高精度的非接触式测量比扫描电子显微镜(SEM)具有更快捷更好的精度,同时也具有更高的重复性。

FED栅板的影像测量挑战