SmartScope® SP系统专为优化扫描探针性能而设计。以刚性结构为基础的系统机械设计，优化了扫描探针的动态数据采集，使其性能规格均符合ISO国际标准。
SmartScope SP光学元件结合了广视场物镜、数码变焦和5百万像素黑白数码相机，在低变焦时提供无失真的16毫米对角线视野，在高变焦时提供高分辨率的影像。精心设计的光学和照明源可确保在所有倍率下都能准确成像。
SmartScope SP系列配置多种XYZ行程的型号。SP25M扫描探针是所有型号的标准配置。可选的TeleStar Plus激光提供超长工作距离和亚微米分辨率，同轴设计使得系统的整个有效测量范围内进行激光测量。
