新一代高端光学测量仪以亚微米级重复精度和全闭环光栅技术，成功将航天器关键部件的形位公差控制在±0.8 μm以内，使我国某型姿控发动机喷嘴良品率从92%提升至99.3%，单台发动机测试周期缩短18小时，直接降低发射成本约2.4%。
设备采用双频激光干涉仪与多光谱共聚焦传感器融合架构，可在同一坐标系内同步完成三维形貌、边缘锐度与膜厚测量；配合自研温度漂移补偿算法，在20 ℃±0.02 ℃的洁净间环境下，24小时零点漂移≤0.15 μm，满足航天级长期稳定性要求。
针对航天钛合金、Invar、SiC/Al等难加工材料，系统内置材料数据库可自动调用折射率与热膨胀系数，实现非接触式快速对焦；0.1 nm纵向分辨率的白光干涉模块，可一次性检出喷嘴微孔内壁0.2 μm的环状划痕，避免传统接触探针造成的二次损伤。
产线集成方案通过EtherCAT总线将测量工位与五轴加工中心实时联动，测量数据以点云形式直接反馈至CNC控制器，实现“加工—测量—补偿”闭环；实测显示，喷嘴群孔位置度误差由3.2 μm降至0.9 μm，批次一致性提升70%，大幅缩减手工研配工序。
随着商业航天发射频次年均增长26%，该高端光学测量仪已批量应用于火箭阀体、卫星支架及深空探测器光学载荷的制造环节，为后续重型运载火箭重复使用、低轨星座批产提供可溯源的微米级质量数据支撑。
