新一代医疗级0.1μm影像仪以亚微米级非接触测量能力，首次将航天微器件缺陷检出率提升至99.999%，实现单颗器件零漏检，为高密度卫星载荷批量交付奠定质量基础。
该设备采用多谱段共焦光学系统与AI边缘算法，可在30秒内完成0.3 mm×0.3 mm封装区域的全表面扫描，自动识别1 μm裂纹、0.1 μm台阶差及镀层针孔，测量重复性≤0.05 μm，GR&R＜5%，满足航天级PPAP100%数据追溯要求。
针对航天陶瓷管壳、MEMS谐振器及QFN微引线三类典型微器件，系统内置的缺陷分类库已积累超过280万组样本，可在0.2秒内完成比对并输出CPK报告，直接对接MES系统，实现不良品实时拦截与工艺参数闭环修正，单条产线年节省返工成本约420万元。
现场验证显示，在真空模拟及-55 ℃~+125 ℃热循环前后，影像仪对焊球塌陷的测量偏差＜0.08 μm，充分适应火箭级冲击与空间辐照环境；其封闭光路设计亦符合ISO14644-1 Class5洁净室标准，可在医疗植入级洁净区内与航天产线共用，减少重复投资。
随着商业星座进入万颗卫星时代，0.1μm影像仪已成为航天微器件量产线的“质量守门员”，推动微器件出厂缺陷率由ppm量级向ppb量级跨越，为我国高可靠航天电子系统提供可量化的零缺陷保障。
