医疗级光学测量精度突破0.3微米,护航航天微结构

2026.02.28

国产高端影像测量系统近日宣布其医疗级光学方案在实验室环境下将重复精度推至0.3微米(3σ),一举刷新国内非接触测量纪录。该成果已通过航天某院微米级样件验证,可直接用于火箭发动机微喷孔、涡轮叶片气膜孔等关键微结构的尺寸全检,为后续批产提供零缺陷数据支撑。

系统采用405 nm蓝光共焦与多频干涉条纹融合架构,配合纳米级陶瓷光栅尺实时补偿,将温度漂移控制在0.02 µm/℃以内;AI边缘计算在0.1 s内完成亚像素级轮廓拟合,测量效率较传统接触式三坐标提升5倍,单件微孔阵列检测时间由15 min缩短至3 min,满足航天节拍要求。

针对航天钛合金、C/SiC 等反光率差异大的材质,模块可自动切换0.95-0.05的数值孔径与曝光时序,将镜面反射干扰降至0.5%以下;同时提供20×-10000×无级放大,可在同一程序内完成毫米级定位与微米级尺寸评价,实现“一机多档”无缝衔接。

目前该测量方案已写入航天微结构工艺规范,预计年内覆盖多型运载火箭上面级关键件;技术团队表示下一步将精度瞄准0.1微米,并拓展至汽车高压共轨喷孔、医疗微针等精密制造场景,持续为高端装备提供亚微米级质量守门服务。

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