国产高精密医疗影像仪近日实现0.1μm级非接触检测技术突破，其亚微米分辨率与多元传感融合算法可直接移植至航天器涡轮叶片、燃料喷嘴等关键零部件的在线测量环节，为精密制造提供可溯源的“医疗级”数据基准。
该设备采用低相干干涉光学系统与纳米级直线电机联动，在200mm×200mm视野内将空间分辨率提升至100nm，重复精度≤0.1μm；配合自研温度补偿模块，可在18℃—24℃车间环境下将热漂移控制在0.05μm以内，满足航天钛合金叶片0.2μm公差带的100%全检需求。
针对航天多曲面、深腔特征，系统新增斜光同轴共焦扫描模式，可在30°倾角内完整提取刃口R角、冷却孔径等三维数据，单点采集时间0.3s，较传统接触式三坐标效率提升6倍；内置的AI边缘算法自动剔除毛刺与反光噪声，将缺陷误判率降至0.3%，确保叶片服役可靠性。
目前，该影像仪已在国内某航天精密制造基地完成1200小时连续试运行，帮助产线实现微米级尺寸反馈闭环，单件叶片检测成本下降42%，批次合格率由92%提升至99.5%，为后续重型运载火箭发动机量产提供了可复制的高精度检测范式。
