影像测量仪的维护保养主要包括以下几个方面：
一、环境方面
影像测量仪应放在清洁干燥的室内，室温保持在20±5℃，湿度低于60%。这样可以避免光学零件表面污损、金属零件生锈、尘埃杂物落入运动导轨而影响仪器机能。
二、日常操作相关
1.使用后清洁
仪器使用完毕，工作面应随时擦拭干净，最好再罩上防尘套。
工作台玻璃脏了，可以用中性清洁剂与清水擦拭干净;绝不能用有机溶剂擦拭油漆表面，否则会使油漆表面失去光泽。
2.电气接插件
仪器所有电气接插件一般不要拔下，如已拔掉，则必须按标记正确插回并拧紧螺丝，不正确的接插，轻则影响仪器功能，重则可能损坏系统。
3.软件相关
计算机上已对工作台与光学尺的误差进行了精确补偿，请勿自行更改，否则会产生错误的测量结果。
三、仪器部件维护
1.精密部件
影像测量仪的精密部件，如影像系统、工作台、光学尺以及Z轴传动机构等均需精密调校，所有调节螺丝与紧固螺丝均已固定，客户请勿自行拆卸，如有问题请通知专业人员，如果自行拆卸会造成影像测量仪出现故障或精度降低，不在保修范围内。
2.传动机构及运动导轨
仪器的传动机构及运动导轨，应定期加润滑油，使机构运动顺畅，保持良好的使用状态。
3.LED光源
影像测量仪的LED光源使用寿命很长，但当有灯泡烧坏时，不要胡乱拆装，需要由专业人员更换。
