用于测量轮廓特征的离轴干涉传感器

TeleStar® Probe是一种独立的离轴干涉传感器，主要用于表面轮廓特征测量。TeleStar Probe提供亚微米级的分辨率，在光滑和不平的表面上均具有出色的表现。该传感器反馈结果快速准确，每秒可快速扫描多达500个精度为1um的数据点，且重复性可达0.1微米。


在SmartScope ZIP上，该探头可以安装在预留位置中，以便在不使用时将其收回。


此外，与传统的Cmm系统不同，OGP的TeleStar Probe可以配置在FlexPoint系统上的VersaFlex™ 中，从而在传统的CMM设备上应用先进的干涉测量技术。


P-25 TeleStar Probe可用提供拆卸的物镜并将传感器的工作距离拓展至最高70毫米的恒定工作距离，以应对不同的测量需求。

技术参数

软件

ZONE3MeasureMind 3D

TELESTar PROBE 解决方案 捕获范围 点尺寸 工作距离
P-20 0.1 µm 800 µm 5.8 µm 25 mm
P-25-35 0.1 µm 800 µm 5.0 µm 35 mm
P-25-70 0.1 µm 1400 µm 9.2 µm 70 mm
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