3D光学测量仪，也称为3D光学轮廓仪或白光干涉仪，是一种高精度的测量仪器，主要用于测量物体表面的三维形貌。以下是3D光学测量仪的一些主要功能：
高精度测量
3D光学测量仪能够实现纳米级别的测量精度，可以准确检测器件表面的微小高度差异。这种高精度使其非常适合于测量超光滑透明微光学器件，以及其他需要极高测量精度的应用。
快速非接触测量
与传统的接触式测量方法相比，3D光学测量仪无需直接接触被测对象，避免了对器件的破坏和变形。它的测量速度很快，可以在短时间内完成大量数据的采集和分析。
三维测量
3D光学测量仪能够实现器件表面的三维测量，即获取表面的形貌、几何形状和曲率等信息。这对于微光学器件的设计和制造具有重要的意义，可以帮助分析器件的性能和效果，为后续加工工艺提供指导。
广泛应用
3D光学测量仪在微电子、光学加工、半导体制造等领域有广泛的应用。它可以用于精确测量光学镜片、光导纤维端面、光纤激光头、光学涂层等器件，为质量控制和过程优化提供了重要的工具和手段。
自动化功能
现代3D光学测量仪通常配备有自动化辅助功能，如自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等，这些功能可以提高测量效率和准确性。此外，还有一些高级功能，如自动拼接测量、定位自动多区域测量等。
数据处理和分析
3D光学测量仪不仅能够提供表面形貌的数据，还可以进行进一步的数据处理和分析。例如，它可以提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析等功能，帮助用户深入理解测量对象的特性。
综上所述，3D光学测量仪是一种功能强大的测量工具，它结合了高精度、快速非接触测量和三维测量的能力，能够在多个领域中发挥重要作用。
