最新交付的三次元测量仪在航天器关键部件检测中实现0.8 μm重复精度，将航天制造公差控制水平提升至微米级，标志着我国航天精密制造进入亚微米时代。
系统采用复合式多元传感架构：激光扫描模块以每秒40万点的速度采集曲面数据，白光干涉传感器实时捕捉纳米级台阶差异，高分辨率CCD完成边缘轮廓亚像素定位。三轴气浮导轨结合闭环反馈，使空间精度达到0.5 μm+L/1000，满足航天钛合金舱段、燃料阀体等复杂曲面全尺寸检测需求。
在航天场景应用中，设备通过温度补偿算法将20℃±0.1℃的实验室条件延伸至18-24℃车间环境，漂移量控制在0.2 μm以内；防振气浮平台隔离0.5 Hz以上地面振动，确保发动机涡轮叶片叶型轮廓度检测误差≤1 μm；内置的航天材料数据库支持TC4钛合金、7075铝合金等12种合金的弹性模量补偿，实现从毛坯到成品的全过程质量追溯。
实测数据显示，某型姿控发动机喷注器单元检测效率由传统三坐标测量的45分钟缩短至8分钟，微米级孔径位置度合格率从92%提升至99.7%；卫星推进舱支架批量检测中，设备以0.3 μm的重复性完成216处关键尺寸验证，使装配一次交验成功率提高40%，显著降低航天器在轨故障风险。
随着航天任务向深空探测、可重复使用运载器演进，三次元测量仪将持续迭代亚微米级检测技术，为下一代重型火箭、载人登月器等重大工程提供数据支撑，推动航天制造从“毫米工程”迈向“微米工程”。
