光学量测量仪器是一类利用光学原理和设备进行物体尺寸、形状、位移、形变等参数的测量和分析的仪器。它们可以通过不同的光学现象和原理来进行测量,下面列举了一些常见的光学量测量仪器及其测量方法:
1. 光学显微镜
光学显微镜利用光线的折射和反射原理,通过显微镜观察物体的形状、表面状况、颗粒分布、光学结构等细节信息。
2. 干涉测量法
干涉测量法利用光波的干涉现象进行测量,包括菲涅尔衍射、弗洛涅尔衍射、迈克耳逊干涉等方法,可以精确测量物体的表面形貌、薄膜厚度等。
3. 拉曼光谱
拉曼光谱通过激发物质分子的振动、转动等产生的光子能级变化,分析物质的组成和结构。
4. 光学屈光度测量
光学屈光度测量用于测量透明介质的折射率、光的传播速度等光学参数,包括测量透镜、眼镜、晶体等的折射率和光学效应。
5. 光散射和荧光
光散射和荧光通过测量光的散射、吸收和发射特性,分析物体的粒径分布、浓度、化学成分等信息,常见方法有动态光散射、静态光散射、拉曼散射等。
6. 光学干涉测量
光学干涉测量通过利用光波的干涉现象,测量物体的位移、形变等信息,包括Michelson干涉仪、白光干涉仪、激光干涉仪等方法。
7. 接触式干涉仪(乌威尔斯基干涉仪)
接触式干涉仪基于迈克耳逊干涉原理,利用测量光路与参考光路光程差的变化,以接触方式对精密零件长度尺寸进行比较测量的光学仪器。
8. 测长仪、测长机
测长仪、测长机带有长度基准,采用接触方式,测量精密零件长度尺寸的光学仪器。
9. 工具显微镜
工具显微镜用显微镜瞄准被测件,按平面直角坐标和极坐标进行测量的光学仪器,配有顶针架等多种测量附件,瞄准显微镜立柱可作偏摆调节。
10. 测量显微镜
测量显微镜具有瞄准显微镜和平面直角坐标测量系统,用于对标尺的刻度进行细分并读取示值。
以上就是一些常见的光学量测量仪器及其测量方法。需要注意的是,这只是一个大致的分类,并不代表所有的光学量测量仪器都采用了这些方法。实际上,不同的仪器可能采用了更加专业或者特定的测量技术。