测量光学仪器包括以下几种：
1. 光学投影仪：用于扫描、放大和投射被测零部件的影像，以进行线性测量、角度测量和表面轮廓测量等。
2. 光学衍射计：利用衍射原理，通过目镜或传感器观察和计算被测物体上的刻线、纹路等特性参数，主要用于薄膜厚度和纹路特征量仪校准，位姿与形位公差检验等。
3. 激光干涉仪：采用激光干涉原理进行精密高速测量，主要应用于形位公差检测、表面形貌检测和纳米级尺寸测量等。
4. 光学显微镜：用于通过观察和测量样品表面形貌和精度等参数，主要应用于光学元件测量、金相分析等料学测量。
5. 光学影像仪：采用数字影像处理技术进行测量，适用于形状、形位精度测量和表面形貌检测等领域。
6. 光栅测量仪：采用光栅检测测头和激光干涉或衍射测量原理，可进行高精度线性、角度、平面、水平等测量。
7. 反射式测角仪：利用特殊光学原理进行测量、校准和调整物体表面角度偏离，常用于光学元件生产和调试等。
总之，测量光学仪器种类丰富，功能各异，广泛应用于制造业、科学研究、医疗等领域，可实现高精度、高效率、无损测量和质量控制等多种测量成果。
