三维光学测量仪，也被称为三维影像测量仪或非接触式光学测量仪，是集光学、机械、电子、计算机图像处理技术于一体的高精度、高效率、高可靠性的测量仪器。以下是关于三维光学测量仪精度的一些详细信息：
精度等级
根据搜索结果，光学非接触式测量仪的精度能达到多少主要取决于使用的传感器类型。一般而言，如果采用视频方式采样并通过图形处理来得到被测点，这种测量方式的精度会在0.1mm以上。如果使用特殊的激光测头，例如RENISHAW激光测头，精度大约在0.05mm左右。如果使用线阵CCD的测头，精度可能会更高，但通常也仅限于二维测量时的精度。
测量方式
三维光学测量仪采用的主动光或被动光通过放大图像几十倍，进行边缘拟合提取的方式，可以达到微米级别的精度(约0.003mm~0.005mm)。此外，如果使用了触笔或探针检测Z向高度，精度还会有所提高。
其他因素
三维光学测量仪的精度还受到被测工件表面质量和传感器分辩率的影响。不同的传感器和不同的工件可能会导致测量精度有所不同。为了判断一台三维光学测量仪的综合精度，最好的方法是找一个标准器(块规、环规)，对CMM进行检定。
综上所述，三维光学测量仪的精度是一个综合性指标，它受到多种因素的影响。在选择三维光学测量仪时，用户需要根据自己的具体需求和被测工件的特点来考虑其精度是否能满足自己的需求。同时，定期的对测量设备进行校准和维护也是非常重要的。
