三维测量仪器的工作原理可以通过几种不同的方法来实现，主要包括激光扫描、光学测量和使用三坐标测量机等。以下是几种常见的三维测量设备的测量原理和工作流程。

激光扫描测量原理

激光扫描仪的基本结构包括激光光源及扫描器、受光感(检)测器、控制单元等部分。激光扫描仪的工作原理是利用激光光束反射形成的扫描光束来测量直径大小。在测量过程中，如果工件阻挡了光线，就可以测知直径的大小。此外，三维激光扫描仪的测量原理还包括光学三角形法，即利用具有规则几何形状的激光源投影到被测表面上，形成的漫反射图像在空间某一位置的图像传感器成像，按照三角形原理计算出被测点的空间坐标。

光学三维扫描仪

光学三维扫描系统是将光栅连续投射到物体表面，摄像头同步采集图像，然后对图像进行计算，并利用相位稳步极线实现两幅图像上的三维空间坐标(X、Y、Z)，从而实现对物体表面三维轮廓的测量。

结构光扫描仪原理

结构光扫描仪是利用光栅连续投射到物体表面，摄像头同步采集图像，然后对图像进行计算，并利用相位稳步极线实现两幅图像上的三维空间坐标(X、Y、Z)，从而实现对物体表面三维轮廓的测量。

三坐标测量机原理

三坐标测量机是由三个互相垂直的运动轴X、Y、Z建立起的一个直角坐标系，测头的一切运动都在这个坐标系中进行，测头的运动轨迹由测球中心来表示。在测量时，把被测零件放在工作台上，测头与零件表面接触，三坐标测量机的检测系统可以随时给出测球中心点在坐标系中的精确位置。

手持式三维扫描仪

手持式三维扫描仪采用激光或白光作为光源，通过扫描物体表面得到点云数据，进而通过软件处理生成物体的三维模型。这种扫描仪适用于室内环境以及物体表面反射情况较好的场合。

以上就是几种常见的三维测量仪器的工作原理和方法。需要注意的是，不同类型的三维测量设备有不同的工作原理，但都是基于对物体表面的扫描和测量来实现三维测量的。