‌精密光学影像测量仪的测量过程主要包括以下几个阶段：试验前准备、测量前的仪器设置、进行工件测量和测量后的注意事项。

　　一、试验前准备

　　1.连接设备与检查电源

　　检查空压气管是否接好，电源是否按规定电压联接妥当等。这是确保仪器正常运行的基础步骤，若电源或气管连接不当，仪器将无法正常工作或者工作过程中出现故障。

　　2.开启气源与电脑系统

　　将空压气管开关打开，待气压正常后，才能移动三轴(X、Y、Z轴)。然后打开电脑系统电源，进入WINDOWS之三次元测量程序。气压正常是保证三轴正常移动的前提，电脑系统中的测量程序是进行测量操作的操作界面。

　　二、测量前的仪器设置

　　1.三轴归零

　　这一步是为了将测量仪器的坐标轴恢复到初始状态，确保测量的准确性和一致性，为后续的测量建立一个基准位置。

　　2.测头直径测量

　　精确测量测头直径，因为测头直径数据在后续测量计算中可能会用到，它关系到测量结果的精度。

　　3.原点设定、基准面设定和基准轴设定

　　原点设定确定了整个测量的坐标原点，基准面设定和基准轴设定则是为了确定测量的基准平面和基准坐标轴，这些设定为工件尺寸测量提供了准确的参照系。

　　三、进行工件测量

　　1.放置工件

　　将工件轻拿轻放于大理石平台上，不可碰撞、划伤平台。在放置时要注意位置，尽量使测量更加方便准确。因为平台若被划伤或者工件放置不当可能会影响测量结果，同时平台也需要保护以免损坏。

　　2.选择测量功能

　　根据工件需要测量的尺寸类型(如点、线、圆、两点距离、角度等)，利用影像测量仪具备的基本测量功能进行操作。例如，如果要测量两点距离，就找到对应的测量两点距离的功能选项。不同的测量仪可能操作方式略有不同，但基本原理是相同的。

　　3.执行测量操作

　　通过操作仪器的相关控制部件(如手柄或者鼠标等，根据仪器类型而定)，使测量头对准工件上需要测量的部位。对于自动影像测量仪，可能可以利用自动边缘提取、自动对焦等功能准确找到测量点;对于手动影像测量仪，则需要操作员小心操作来对准测量点。然后读取并记录测量数据。

　　四、测量后的注意事项

　　1.保护测头

　　每次测量后，将立轴(Z轴)抬高至工件碰不到处，这样可以避免测头不小心碰撞到工件而损坏。

　　2.仪器清洁与保养

　　大理石平台及立轴千万不能用水和油擦拭，必要时只能用酒精擦拭;保养平台时可上少许专用蜡油，但导轨移动部位不能擦到蜡油。大理石平台上摆放工件应轻拿轻放，不可碰撞、划伤，平台、凹槽处经常用吸尘器清扫灰尘。坐标尺可用酒精擦拭，保持干净。这些保养措施可以延长仪器的使用寿命，确保仪器的精度。