‌三次元测量仪的设备维护和保养主要包括以下几个方面‌：

　　一、日常保养

　　(一)清洁

　　整体清洁

　　定期用干净的干细棉布或擦拭纸擦拭仪器表面，去除灰尘、油污等杂质。必要时可以使用吹气壶先吹掉灰尘，对于一些难以擦拭的污渍，可再用干净细干棉布沾上工业用酒精擦拭表面，但要注意避免接触镜头部分，镜头部分的清洁需格外小心，应吹掉镜片上的灰尘，然后用干净的脱脂棉仔细擦拭镜片，如有必要，蘸一点纯酒精，不要用油、汽油或水接触镜头。

　　特定部件清洁

　　导轨清洁：金属导轨可用航空汽油擦拭(120或180号汽油)，花岗岩导轨则使用无水乙醇擦拭。在保养过程中切勿给任何导轨上涂抹油脂。对于三坐标测量机，由于其导轨加工精度很高，与空气轴承的间隙很小，如果导轨上面有灰尘或其它杂质，就容易造成气浮轴承和导轨划伤，所以每次开机前应进行清洁工作。

　　钢尺清洁：对于配有钢尺的测量仪，定期用干净的脱脂棉蘸少许黄油仔细擦拭钢尺，保持钢尺表面清洁光滑。

　　塔尺清洁：经常用干净的布擦拭，以保持仪器的清洁。

　　(二)存放

　　一般存放环境要求

　　储存环境必须防尘、通风、低湿度。应将仪器存放在阴凉干燥的环境中，摆放整齐，防止撞击和破损。长期存放时，请将仪器从包装箱中取出，以便空气流通，防止发霉。在潮湿的气候地区使用烘干机或通风厨;在严寒区域，不适用时不要将仪器移至室内，在室外温度下保存在安全的地方，防止水汽凝结在光学镜头上和仪器内部。

　　不同部件存放

　　塔尺和钢尺：不使用时，将塔尺和钢尺装入包装箱或包装套中存放。

　　(三)运输

　　在运输过程中应防止碰撞和挤压。特别是长途运输，要用塑料泡沫垫装入运输包装箱;对于塔尺和钢尺等部件，要放入保护盒或保护套内，途中防止挤压。

　　二、传动部分保养

　　(一)干磨擦部分

　　气浮轴承及无牙丝杆传动机构等干磨部分

　　先用干细棉布或擦拭纸擦拭磨擦表面以擦拭其灰尘或油污等。

　　也可使用吹气壶，将灰尘吹掉。

　　必要时，可再用干净细干棉布沾上工业用酒精或高级润滑油，擦拭磨擦表面。

　　(二)润滑部分

　　先用细棉布将灰尘擦拭干净。

　　润滑部分再加入润滑机油、或由黄油枪加入。

　　三、定期检查与调整

　　经常检查仪器，必要时根据说明进行调整。例如在开机前，除了清洁工作，还要检查气源、电源是否正常，若条件允许，配置稳压电源，并定期检查接地，确保接地电阻小于4欧姆;长时间未使用时，要控制室内温湿度(至少24小时)，在湿润环境中，定期打开电控柜，确保电路板充分干燥，以避免受潮损坏电控系统。

　　四、使用过程中的维护

　　在将被测零件放到工作台上进行检测之前，应先清洗去毛刺，以防止加工完成后零件表面残留的冷却液及加工残留物影响测量机的测量精度及测尖使用寿命。

　　放置大型及重型零件到工作台上时，应轻放，避免造成剧烈碰撞，致使工作台或零件损伤。若有必要，可在工作台上放置厚橡胶以防碰撞。放置小型及轻型零件到工作台后，应先紧固再进行测量，以免影响测量精度。

　　在工作过程中，测座在转动时(尤其是带有加长杆的情况下)务必远离零件，以避免碰撞。