影像测量仪的精度是其关键指标，是保证测量精度的保证之一。精度通常以分辨率和误差范围来衡量，不同型号和配置的影像测量仪精度会有所不同。
精度分类
一般测量精度
一般测量精度通常其分辨率为0.001mm，测量精度一般为(3L/200)μm左右。
高精度测量精度
为了满足现代制造业对尺寸检测日益突出的更高速、更便捷、更精准的测量需求，一些厂商推出了高精度的影像测量仪。例如，中图仪器的CHT系列高精度全自动影像测量仪，其精度可以高达1.8μm。此外，还有一些高端影像测量仪的测量精度可达到2.5微米。
影响精度的因素
影像测量仪的精度不仅取决于仪器本身的性能，还受到许多外部因素的影响。例如，测量线性尺寸的坐标测量机、配置转台轴线为第四轴的坐标测量机、扫描测量型坐标测量机、多探针探测系统的坐标测量机等都可能影响测量精度。亮载件可精度指示、结构原理、测量纸味方法、日常不注意维护等也是影响影像测量仪精度的因素。
应用领域
影像测量仪适用于以二维平面测量为目的的一切应用领域，但主要还是用在卡尺、角度尺很难测量到或根本测量不到的，但在装配中起重要作用的零部件尺寸、角度等测量中。
