影像测量仪作为一种高精度的测量设备，其允许误差主要取决于其设计、制造和使用条件。以下是关于影像测量仪允许误差的一些详细信息：
基础误差来源
影像测量仪的误差来源主要包括以下几个方面：
1.光栅计数尺的误差
2.工作台移动时存在的直线度、角摆带来的误差
3.工作台两测量轴垂直度带来的误差
4.显微镜光轴与工作台不垂直带来的误差
5.测量室温度带来的误差
6.光源照明条件的变化带来的对焦和对准误差
这些误差中，前四项通常被认为是硬件误差，这类误差在仪器制造过程中已经形成并固定下来，一般无法改变。而温度影响带来的误差，则需要通过控制测量室的温度和等温过程来减小其影响。
允许误差范围
根据ISO10360系列标准，影像测量仪在特定条件下的测量误差有一定的范围。例如，对于配备了转台的测量机，标准定义了径向四轴误差(FR)、切向四轴误差(FT)、轴向四轴误差(FA)等指标。而对于扫描测量型坐标测量机，标准则描述了在扫描模式下的测量误差，包括空间扫描探测误差等。
偶然误差与系统误差
影像测量仪的测量误差可能还包括偶然误差和系统误差。偶然误差是指当其他条件都一致时进行同一测量，发现误测量的数值大小、符号都不相同，而且没有规律可言。这种误差是人力所不能控制的，或者说人力所无法估计的误差。系统误差则是指在其他条件一致时进行同一量的测量，出现误差，并且误差是有规律的出现。这种误差就是系统原因，是一种系统误差。
