在MEMS元器件上需要测量多种关键尺寸，包括弯曲的节距、宽度和间距、插接件、梳齿状元件、弧、圆直径和中心位置。由于对MEMS技术和元器件的大量需求和广泛性，尺寸从几微米到几毫米的范围不等。产品尺寸限制的原因，需要影像放大进行高精度检测。
另外，MEMS器件的核心是包含移动的组件。MEMS必须要么使其内部某个组件移动，要么允许某个组件根据外部影响移动，然后感知该移动。MEMS设备的运动部件通常采用弯曲，运动的检测，通常涉及到几组交错的“触手”或“梳齿”。对于精确的运动和运动检测，了解弯曲和动态检测元件的尺寸是至关重要的。
QVI系列影像测量仪器具有平稳精准的测量运动系统，可以确保MEMS元件所需的精确测量。
