3D光学测量仪是一种利用光学原理进行三维空间测量的设备，它能够获取物体的三维形状和表面粗糙度等信息。以下是3D光学测量仪的一些典型应用：
1. 腐蚀微坑测量
在石油工业中，管道和储罐的腐蚀情况是一个重要的监测项目。传统的重量损失分析方法只能检测到明显的腐蚀缺陷，而对于那些肉眼难以观察到的小缺陷，如腐蚀针孔，却难以准确评估。这时，3D光学测量仪就能发挥其优势。例如，Bruker Alicona的InfiniteFocus SL 3D测量系统可以直接测量大面积区域的表面，获取包含缺陷数、最大深度等信息的3D数据集
2. 半导体制造工艺检测
半导体制造过程中，对晶圆表面的检测是非常关键的一步。SuperView W1光学3D表面轮廓仪可以对晶圆表面进行大范围多区域的粗糙度自动化检测，其高精度的测量能力可以确保检测结果的准确性
3. 微纳材料及制造
在微纳材料的制造和研究中，需要对微细结构进行精确的测量。3D光学测量仪可以实现真正的非接触式3D测量，对于微细制造的零件的高度、平面度及空间角度等位置关系进行准确检测
4. 玻璃屏及其精密配件检测
3D光学测量仪可以用于检测3C电子玻璃屏及其精密配件的表面形貌，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准
5. 金属光滑凹面轮廓测量
对于金属或其他光滑凹面的轮廓测量，3D光学测量仪可以利用其特殊的光源模式和自动面台阶高检测功能，实现对细微形貌的精确测量
3D光学测量仪在各种高精度测量领域都有广泛的应用，它的非接触式测量能力和高精度的数据分析功能，使其成为现代工业中不可或缺的测量工具。
