国产高端影像测量系统日前完成0.1μm精度验证，正式部署于航天发动机叶片生产线，实现100%在线几何尺寸与缺陷同步检测，单件节拍缩短至18秒，较离线三坐标效率提升6倍，标志着我国航天热端部件质量控制进入亚微米级实时管控阶段。
系统采用双波段共焦光学探头与低相干干涉模块融合设计，可在1200℃叶片辐射背景下抑制杂散光90%，对前缘R角、排气边微裂纹等关键特征实现0.1μm重复精度；配合AI边缘算法，将测量数据与CAD模型实时比对，超差0.5μm即触发刀补信号，机加闭环修正时间由原来30分钟压缩至90秒，一次交验合格率提升至99.97%。
针对航天钛铝单晶叶片易变形难题，设备内置32路温度补偿传感器，以1kHz频率采集工件热变形曲线，通过数字孪生模型动态预测膨胀量并实时补偿，使20℃温升引起的尺寸漂移从2.3μm降至0.15μm；同时开放EtherCAT与MES接口，测量报告随件绑定，实现全生命周期数据可追溯，满足AS9100对关键件“一物一档”的严苛要求。
项目团队透露，该影像仪核心模块已通过航天级振动、冲击及真空环境试验，下一步将扩展至医疗骨科植入物、精密模具刃口等0.1μm级制造场景，为高端制造业提供通用型亚微米在线检测平台。
