一、日常维护
清洁外表
使用干细棉布或擦拭纸擦拭仪器外表，以擦拭其灰尘或油污等，小心注意其仪器外表勿受伤。再用干净细干棉布沾上工业用酒精，擦拭仪器外表，尤其金属及非金属表面。
花岗岩表面擦拭
先用干细棉布或擦拭纸擦拭花岗岩表面，以擦拭其灰尘或测量后机件遗留的油污等。再用干净细干棉布沾上工业用酒精，擦拭花岗岩外表面，酒精具挥发性会自然蒸发。必要时，可使用花岗岩专用保养油再擦拭。
镜面擦拭
先用拭镜纸轻轻擦拭镜面表面，勿用力以免伤及镜面。再用棉花棒沾工业用酒精，轻轻擦拭镜面表面，并需等酒精挥发后，再装回去。镜面擦拭可区分成校正玻璃片及镜头内透镜组，由于灰尘粒子会造成成像的黑点，镜面擦拭至为重要，装置后需重新借着影像观察擦拭结果。
传动部分保养
分干磨擦部分及润滑部分，干磨擦部分又有气浮轴承及无牙丝杆传动机构之区分。干磨擦部分保养步骤：先用干细棉布或擦拭纸擦拭磨擦表面，以擦拭其灰尘或油污等。也可使用吹气壶，将灰尘吹掉。必要时，可再用干净细干棉布沾上工业用酒精或高级润滑油，擦拭磨擦表面。润滑部分保养步骤：先用细棉布将灰尘擦拭干净。润滑部分再加入润滑机油、或由黄油枪加入。
二、保养注意事项
控制环境条件
三坐标测量仪对环境要求比较严格，应按要求严格控制温度及湿度。请将CMM所在环境温度控制在20±2℃，湿度控制在55-65%之间。
检查气源和电源
每天要检查机床气源，放水放油。定期清洗过滤器及油水分离器。还应注意机床气源前级空气来源(空气压缩机或集中供气的储气罐)也要定期检查。开机前检查电源，如有条件应配置稳压电源，定期检查接地，接地电阻小于4欧姆。
导轨清洁
每次开机前应清洁机器的导轨，金属导轨用航空汽油擦拭(120或180号汽油)，花岗岩导轨用无水乙醇擦拭。
避免导轨上油脂
切记在保养过程中不能给任何导轨上任何性质的油脂。
给光杆、丝杆、齿条上防锈油
定期给光杆、丝杆、齿条上少量防锈油。
避免剧烈碰撞
大型及重型零件在放置到工作台上的过程中应轻放，以避免造成剧烈碰撞，致使工作台或零件损伤。必要时可以在工作台上放置一块厚橡胶以防止碰撞。
清洁工作台面
工作完成后要清洁工作台面;检查导轨，如有水印请及时检查过滤器。如有划伤或碰伤也请及时与本公司联系，避免造成更大损失。
关闭气源
工作结束后将机器总气源关闭。
软件操作注意事项
请不要将电脑主机连接网络，并小心使用移动存储盘，以免中网络病毒。
通过上述的维护和保养方法，可以确保三维影像测量仪的测量精度和使用寿命得到有效保障。
