国产医疗级影像仪将分辨率推进至0.1μm，首次在航天微器件产线实现批量非接触测量，单颗器件全尺寸扫描时间由15分钟缩短至90秒，良品率提升8.6%，为高密度卫星电子舱可靠性验证提供数据支撑。
系统采用复消色差物镜与低相干光源融合设计，在0.1μm分辨率下仍保持±0.05μm重复精度；纳米级压电平台搭配AI边缘去噪算法，可穿透陶瓷封装直接获取引线键合三维形貌，避免传统切片破坏，单台设备年节省耗材成本约120万元。
针对航天器件“轻、薄、易变形”特点，仪器新增负压微吸附载台，0.3秒内完成柔性固定，测量应力低于0.02N；同时开放MES接口，实时回传2D/3D数据，与热真空试验数据库联动，实现同批次器件从来料到发射全程可追溯。
目前该影像仪已覆盖90%以上航天微器件尺寸公差检测需求，并同步服务于医疗导管、精密注塑件等高端场景，0.1μm级全检方案正成为高可靠行业新的质量基准。
