新一代医疗级影像仪将分辨率推进至0.1μm，在航天微器件检测中首次实现非接触、无损伤、全尺寸闭环测量，单视野下可同步完成尺寸、形位公差与表面缺陷判定，检测效率提升3倍，漏检率降至5ppm以下，为高密度航天电控单元提供零缺陷数据支撑。
设备采用多波段共焦光学系统与亚像素边缘算法，在0.1μm分辨率下仍保持±0.15μm测量精度；配合主动减振气浮平台，可在10-3g微振动环境中稳定工作，满足航天级洁净室Class 100洁净度要求，实现微米级特征尺寸与纳米级表面粗糙度同步输出。
针对航天微器件多层陶瓷壳体、金线弧高、微焊球阵列等复杂三维结构，系统集成光谱共焦与激光差动双传感模块，Z轴分辨率0.05μm，单点采集时间0.3ms，可在30s内完成256引脚封装的全尺寸扫描，自动生成CPK报告并对接MES系统，实现检测数据100%可追溯。
实测数据显示，该影像仪在航天陀螺仪微转子检测中，将传统三坐标14小时的测量周期压缩至18分钟，同轴度重复性GR&R≤5%，帮助企业在首件鉴定阶段提前发现0.8μm偏心误差，避免批次报废，单批次节省成本超120万元。
随着航天器向轻量化、高集成演进，0.1μm医疗级影像仪已成为微器件入厂、过程及交付全链路的标准配置，其非接触、高通量、数据闭环的特性，将持续降低航天电子系统的质量风险，助力我国商业航天运载器实现万次重复使用的可靠性目标。
