光学轴类测量机是一种高度精密的测量设备，主要用于测量机械零件的直线度、角度以及其他几何参数。其工作原理主要基于光学的干涉和衍射现象，下面是对具体工作原理的详细解释：
1. 光源与参照平面
光学轴类测量机的工作开始于光源。这个光源通常垂直于参照平面，用于照亮待测零件的表面。形成的光线应该是平行的，以便在接下来的过程中能够准确地进行测量。
2. 待测物体
接下来，待测零件被放置在参照平面上。光线穿过待测零件并射出，这时光线会发生一些变化，比如因为折射或者反射导致的光程改变。
3. 干涉仪
干涉仪是光学轴类测量机的关键部分。它分为两种类型：型式干涉仪和分光干涉仪。这两种干涉仪都能够根据光的波长和光程差来计算长度。型式干涉仪通过不同物距产生不同像距，得到干涉图模式，然后通过比较模式的不同来确定位移距离。分光干涉仪则将干涉模式通过分光装置分出不同波长，从而计算出待测物体表面的高度、角度和位置等几何参数。
4. 数据处理
最后，当干涉仪接收到经过分析处理的干涉或衍射光信号后，会将其转化为电信号。根据这些电信号的变化，可以通过计算和数据处理得出被测物体的轴线精度和直线度等参数。
综上所述，光学轴类测量机的工作原理涉及多个光学元件和物理定律的应用，包括光的干涉、衍射以及几何参数的计算。这种测量技术以其高精度和稳定性在精密加工和质量控制领域得到了广泛的应用。
