医疗级光学测量仪突破0.5μm精度,助力航天精密制造

2026.02.12

  新一代医疗级光学测量仪通过多频共焦干涉与亚像素边缘提取算法,将重复精度推至0.5μm(±2σ),较上一代提升67%,可在同一台设备上完成曲面镜片、钛合金植入物及航天继电器簧片的全尺寸非接触检测,单件节拍缩短至18秒,正式迈入亚微米量产时代。

  硬件层面,仪器采用405 nm蓝光共焦传感器与0.1 nm分辨率激光干涉尺双轨设计,Z轴线性误差<0.15μm/100mm;配合气浮隔振平台,可将地面微振动衰减99.3%,确保航天级铝合金阀体在加工现场实现“加工—测量—补偿”闭环,车铣后尺寸偏差控制在1μm内,减少二次装夹90%。

  软件方面,内置符合ISO 13485与AS9100的测量协议模板,可自动输出圆度、平行度、轮廓度等12类报告;AI边缘预测算法对高反光钛合金表面进行实时去噪,使球头铣刀R0.2mm刃口圆弧测量不确定度降至0.3μm,满足航天发动机叶根阻尼台的高精度抽检需求。

  目前,该设备已在国内某航天精密制造基地批量部署,用于惯性导航陀螺框架、卫星太阳翼驱动轴承等关键件的全检,单条产线年检测量时长从2400小时降至700小时,废品率由0.8%降至0.1%,预计每年可节省钛合金原料成本超三百万元。

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