光学轴类测量仪的工作原理是什么?

2023.06.29

  光学轴类测量仪是一种用于测量机械零件的直线、角度等几何参数的测量设备。其工作原理主要利用了光学干涉的原理,它的主要部件包括光源、参照平面、待测物体和干涉仪等。

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  具体工作原理如下

  1. 光源:垂直于参照平面的光源照射在待测零件的表面上,形成一束平行光。

  2. 参照平面:参照平面是一个光学平面,通常是平行于待测零件的一个标准平面,用于确定测量坐标系。

  3. 待测物体:待测零件放置在参照平面上,光线穿过待测零件并射出。

  4. 干涉仪:干涉仪分为两种,分别是型式干涉仪和分光干涉仪。通过给出的光程差和知道了光的波长,就可以知道当前测量的长度

  型式干涉仪,则是通过不同物距产生不同像距,得到干涉图模式,然后,通过比较模式的不同来确定位移距离。

  分光干涉仪,则是将干涉模式通过分光装置分出不同波长。通过识别干涉图像中的条纹数量和暗纹跳变,计算出待测物体表面的高度、角度和位置等几何参数。

  总之,光学轴类测量仪主要利用了光学干涉的原理进行测量,精度高、稳定性好,被广泛应用在精密加工和质量控制领域。

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