新一代亚微米级影像测量系统已在国内某航天燃料阀量产线上完成验证，将关键尺寸重复精度从±3 μm提升至±0.3 μm，一次合格率由92%跃升至99.7%，单批次检验时间缩短58%，标志着我国火箭发动机燃料阀制造正式进入亚微米时代。
该系统采用0.1 μm光栅尺全闭环控制与多谱段LED同轴照明，可在30秒内完成阀芯、阀座、密封槽等12处关键尺寸的亚微米级扫描，配合AI边缘算法，实时补偿温度漂移与夹具微位移，实现边加工边测量的“零等待”闭环控制，彻底解决传统三坐标离线抽检带来的滞后报废问题。
针对火箭燃料阀的深孔、狭缝及高反射表面，设备集成激光共焦与斜射光谱传感器，可在同一坐标系下完成非接触粗糙度、倒角轮廓与微裂纹检测，最小可识别0.05 μm的纵向划痕，提前筛除潜在泄漏隐患；同时，测量数据以Q-DAS格式直联MES系统，自动生成符合GJB 19001A的SPC报告，实现单件全生命周期可追溯。
产线实测显示，采用该影像仪后，燃料阀密封副的配对间隙控制在0.8—1.2 μm区间，较传统工艺收窄70%，发动机地面试车脉冲次数提升22%，为后续可重复使用火箭降低3.4%推进剂损耗奠定制造基础；目前该方案已扩展至航天氢氧阀、高压冷氦阀等6大类精密流体控制部件的批量生产。
