国产航天级光学影像仪近日完成0.3μm亚微米级精度验证，将非接触测量极限提升一个量级，可在-40 ℃~+120 ℃、104 lx杂光及2 g振动环境下稳定输出三维坐标，为火箭燃料舱、涡轮叶片等关键部位提供在线全检能力。
系统采用410 mm大口径复消色差物镜与纳米级气浮位移台，配合0.01 nm分辨率的激光干涉标尺，实现±0.15μm重复精度；AI边缘计算模块在0.2 s内完成百万点云去噪与比对，较传统影像仪提速8倍，可直接嵌入产线节拍。
在航天场景下，设备通过真空兼容润滑脂与低逸气粘合剂通过总放气率≤5×10-8 Pa·m3/s测试，满足NASA-STD-5005洁净要求；针对碳纤维舱体，0.3μm精度可分辨铺层间0.5μm级台阶缺陷，使燃料贮箱一次性焊接合格率由92%提升至99.2%，单台火箭节省复检工时120人时。
目前该影像仪已扩展至汽车、医疗、3C等5大行业，支持多元传感扩展：可同轴叠加共聚焦白光测头，实现0.1μm高度分层扫描；也可选配激光多普勒模块，对旋转叶片进行6×104 r/min在线动平衡测量，为高端制造提供一站式非接触计量方案。
