新一代医疗级0.1μm影像仪通过亚微米级非接触光学测量，为航天微器件提供全生命周期质量护航，实现从晶圆到封装的全流程缺陷拦截，已在某型号姿控发动机微喷注器量产线稳定运行12个月，缺陷检出率提升至99.7%，单件检测时间缩短至8秒。
核心优势体现在三大维度：一是0.1μm分辨率结合0.05μm重复精度，可识别传统设备漏检的微米裂纹与镀层针孔；二是多光谱共焦传感器与AI边缘计算融合，实时补偿温漂与振动，在-20℃~60℃车间环境下仍保持±0.3μm测量不确定度；三是模块化治具兼容Φ0.2mm~Φ30mm复杂几何，一键切换程序后换型时间＜30秒，满足航天多品种小批量生产节拍。
在航天微器件典型应用中，该影像仪对涡轮泵轴承保持架实施360°全表面扫描，利用三维点云重构算法将滚道圆度误差量化至0.08μm，提前发现早期疲劳源；针对MEMS微阀的0.15mm节流孔，采用背光+前光双通道成像，孔径真圆度测量结果与CT断层扫描相关性达0.998，替代了原有耗时30分钟的破坏性切片验证。
产线数据闭环显示，部署该设备后微器件批次报废率由0.8%降至0.02%，单年节省贵金属材料成本超200万元；同时测量数据直接对接MES系统，实现每颗器件的微米级尺寸履历追溯，为后续在轨故障归零提供不可篡改的原始依据。
面向下一代可重复使用火箭需求，研发团队正将测量范围扩展至200mm×200mm，并引入飞秒激光辅助对焦技术，目标在2025年前实现0.05μm级在线全检，持续巩固航天微器件制造的质量护城河。
