随着航天器向高集成、轻量化演进，微器件尺寸已逼近微米级，任何0.1μm的形位误差都可能引发信号漂移或密封失效。最新导入的医疗级0.1μm影像仪，将原本用于血管支架检测的亚微米光学方案移植至航天产线，实现全工序非接触测量，使关键部件的一次交验合格率由97.2%提升至99.999%，为“零缺陷”发射提供数据级保障。
该设备采用420 nm蓝光共焦与双 telecentric 镜头复合架构，横向分辨率达0.1μm，Z轴重复精度0.05μm，可在5秒内完成0.3 mm×0.3 mm视场内的亚像素级边缘提取；配合AI轮廓补偿算法，对钛合金镀金层、陶瓷封装体等低对比材料仍保持≥95%的抓边成功率，避免传统接触探针造成的纳米划痕及材料剥落。
针对航天批产“多品种、小批量”特点，系统内置航天微器件特征库，可自动识别陀螺仪框架、伺服阀喷嘴等47类典型结构，一键生成GD&T评价报告；当实测值接近公差带80%时，MES端口即时预警，联动激光微调机进行在线修整，将返工率压缩至5 ppm以下，单批次节省检验工时约38%。
产线验证数据显示，采用该影像仪后，某型星载惯性测量单元焊环宽度CPK由1.33提升至2.58，微推力器喷嘴同轴度误差≤0.3μm，满足GJB 548B宇航级标准；同时，因减少二次拆装，微粒污染下降72%，使整舱清洁度直接达到ISO 5级要求，为后续真空封装节省48小时净化周转时间。
目前，这一医疗级0.1μm影像仪已覆盖航天微器件来料、封装、总装三大环节，形成全链路闭环数据，预计年内在更多星座导航、深空探测项目中批量落地，持续为我国高端航天器提供微米级甚至亚微米级的“质检护航”。
